کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943413 1450340 2015 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A dedicated calibration standard for nanoscale areal surface texture measurements
ترجمه فارسی عنوان
یک استاندارد کالیبراسیون برای اندازه گیری سطح بافت سطحی نانومقیاس
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
یک استاندارد کالیبراسیون برای اندازه گیری سطح بافت سطحی نانومقیاس
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 141, 15 June 2015, Pages 250-255
نویسندگان
, , ,