کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943482 1450344 2015 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Simulation of ALD chemistry of (nBu3P)2Cu(acac) and Cu(acac)2 precursors on Ta(110) surface
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Simulation of ALD chemistry of (nBu3P)2Cu(acac) and Cu(acac)2 precursors on Ta(110) surface
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 137, 2 April 2015, Pages 23-31
نویسندگان
, , , ,