کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943498 1450344 2015 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Improvement of cohesion strength in ULK OSG materials by pore structure adjustment
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Improvement of cohesion strength in ULK OSG materials by pore structure adjustment
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 137, 2 April 2015, Pages 75-78
نویسندگان
, , , , , ,