کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943542 1450346 2015 16 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nanofabrication by electron beam lithography and its applications: A review
ترجمه فارسی عنوان
نانوکامپوزیت با لیتوگرافی پرتو الکترونی و کاربرد آن: بررسی
کلمات کلیدی
نانوفیبریت، لیتوگرافی پرتو الکترونی، نانوساختار، نانو الکترونیک، نانوفوتونیک، متاممتر
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
نانوکامپوزیت با لیتوگرافی پرتو الکترونی و کاربرد آن: بررسی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 135, 5 March 2015, Pages 57-72
نویسندگان
,