کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943877 1450369 2013 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Geometry of nanopore devices fabricated by electron beam lithography: Simulations and experimental comparisons
ترجمه فارسی عنوان
هندسه دستگاه های نانوپور که توسط لیتوگرافی پرتو الکترونی ساخته شده اند: شبیه سازی ها و مقایسه های تجربی
کلمات کلیدی
نانوپور، شبیه سازی، لیتوگرافی پرتو الکترونی، پنه لوپه، فناوری نانو، مونت کارلو،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
هندسه دستگاه های نانوپور که توسط لیتوگرافی پرتو الکترونی ساخته شده اند: شبیه سازی ها و مقایسه های تجربی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 112, December 2013, Pages 149-156
نویسندگان
, ,