کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943912 1450372 2013 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Millisecond flash lamp annealing for LaLuO3 and LaScO3 high-k dielectrics
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Millisecond flash lamp annealing for LaLuO3 and LaScO3 high-k dielectrics
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 109, September 2013, Pages 381-384
نویسندگان
, , , , , , , ,