کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6944313 | 1450383 | 2012 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effect of retaining ring slot designs and polishing conditions on slurry flow dynamics at bow wave
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Bow wave slurry film thickness was measured using ultraviolet enhanced fluorescence technique. ⺠Two polyetheretherketone (PEEK) retaining rings were tested under different polishing conditions. ⺠PEEK-1 generated thicker slurry film than PEEK-2. ⺠Film thickness increased with flow rate and ring pressure and decreased with sliding velocity for PEEK-1. ⺠Film thickness did not change significantly for PEEK-2.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 98, October 2012, Pages 70-73
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 98, October 2012, Pages 70-73
نویسندگان
X. Liao, Y. Sampurno, Y. Zhuang, A. Rice, F. Sudargho, A. Philipossian, C. Wargo,