کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7118133 1461373 2018 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Thermally induced irreversibility in the conductivity of germanium nitride and oxynitride films
ترجمه فارسی عنوان
عدم برگشت پذیری حرارتی در هدایت الکتریکی نیترید هیدروژن و اکسین نیترید
کلمات کلیدی
نیترید هیدروژن اکسین نیترید ژرمانیوم، آنیلینگ حرارتی، رسانایی الکتریکی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش مقاله
عدم برگشت پذیری حرارتی در هدایت الکتریکی نیترید هیدروژن و اکسین نیترید
چکیده انگلیسی
We report the evidence for irreversible changes in the conductivity, σ(T), of a-Ge3Nx (3.7
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 74, February 2018, Pages 57-63
نویسندگان
, , , , ,