کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
729182 | 1461416 | 2015 | 13 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Evolution of surface morphology of alloyed AuGe/Ni/Au ohmic contacts to GaAs microwave FETs
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
During post-deposition alloying of AuGe/Ni/Au ohmic contacts to microwave transistors, there is interdiffusion of alloy materials and GaAs into each other. Outdiffusion from substrate greatly influences the surface roughness of the contacts as a function of alloying temperature. During our experiments, we have observed that the RMS roughness of the contact surface followed the trend of contact resistance with alloying temperature. We seek to explain this evolution of surface morphology using a model involving the phenomena of coalescence and outdiffusion occurring simultaneously.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 30, February 2015, Pages 62–74
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 30, February 2015, Pages 62–74
نویسندگان
G. Sai Saravanan, K. Mahadeva Bhat, S. Dhamodaran, A.P. Pathak, R. Muralidharan, H.P. Vyas, D.V. Sridhara Rao, R. Balamuralikrishnan, K. Muraleedharan,