کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7848422 1508817 2018 20 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Redox agent enhanced chemical mechanical polishing of thin film diamond
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی انرژی انرژی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Redox agent enhanced chemical mechanical polishing of thin film diamond
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Carbon - Volume 130, April 2018, Pages 25-30
نویسندگان
, , , , , , ,