کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7876229 1509526 2018 33 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effect of sputter pressure on Ta thin films: Beta phase formation, texture, and stresses
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سرامیک و کامپوزیت
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Effect of sputter pressure on Ta thin films: Beta phase formation, texture, and stresses
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Acta Materialia - Volume 150, 15 May 2018, Pages 317-326
نویسندگان
, , ,