One-dimensional photonic crystal cavities in single-crystal diamond

تحقق واسطهای نوری کارآمد برای مراکز جایگزین نیتروژن در الماس، یک مسئله مهم در علوم کوانتومی با کاربرد بالقوه در ارتباطات کوانتومی و پردازش اطلاعات کوانتومی است. ما دو تکنیک برای ساخت حفره های کریستال فوتونی یک بعدی در الماس تک کریستال را توصیف و نشان می دهیم، با استفاده از (1) ترکیبی از اچ واکنش پذیری و تراکم پرتوهای یونی متمرکز و (2) لیتوگرافی ماسک سخت سیلیکون سخت با اچ واکنش پذیر. ما از دو نوع از طرح های حفره های کریستال فوتونیک یک بعدی استفاده می کنیم و در مورد عملکرد نوری آنها بحث می کنیم. ما می بینیم که لیتوگرافی ماسک سیلیکون منتج به خواص اپتیکی بهتر نسبت به تکنیک های طراحی بافت یونی متمرکز شده است. ماسک های سیلیکونی همچنین انتخاب گرایش اکسیژن پلاسما را در بیش از 36: 1 (الماس: سیلیکون) نشان می دهد. ما از این ماسک ها برای تولید انواع دستگاه های فوتونیک الماس استفاده می کنیم.