کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7938649 | 1513183 | 2018 | 21 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication and RF characterization of zinc oxide based Film Bulk Acoustic Resonator
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Fabrication and RF characterization of zinc oxide based Film Bulk Acoustic Resonator Fabrication and RF characterization of zinc oxide based Film Bulk Acoustic Resonator](/preview/png/7938649.png)
چکیده انگلیسی
This work reports fabrication and characterization of Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) to improve the performance characteristics for RF filter and sensing application. Zinc oxide as a piezoelectric (PZE) material was deposited on an aluminum bottom electrode using an RF magnetron sputtering, at room temperature, and gold as top electrode for the resonator. Tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) setup was used for bulk silicon etching to make back side cavity to confine the acoustic signals. The transmission characteristics show that the FBARs have a central frequency at 1.77â¯GHz with a return loss of â10.7â¯dB.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Superlattices and Microstructures - Volume 118, June 2018, Pages 104-115
Journal: Superlattices and Microstructures - Volume 118, June 2018, Pages 104-115
نویسندگان
Raju Patel, Deepak Bansal, Vimal Kumar Agrawal, Kamaljit Rangra, Dharmendar Boolchandani,