کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7938760 1513184 2018 32 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Preparation of composite micro/nano structure on the silicon surface by reactive ion etching: Enhanced anti-reflective and hydrophobic properties
ترجمه فارسی عنوان
آماده سازی ساختار میکرو / نانو کامپوزیت بر روی سطح سیلیکون با اچینگ واکنشی یون: خواص ضد انعکاسی و هیدروفوبی پیشرفته
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش مقاله
آماده سازی ساختار میکرو / نانو کامپوزیت بر روی سطح سیلیکون با اچینگ واکنشی یون: خواص ضد انعکاسی و هیدروفوبی پیشرفته
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Superlattices and Microstructures - Volume 117, May 2018, Pages 144-154
نویسندگان
, , , , , , ,