کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7940477 1513192 2017 25 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effect of sputtering deposition process of indium tin oxynitride on surface damage of gallium nitride film
ترجمه فارسی عنوان
تاثیر فرآیند رسوب پاشی اکسین نیترید قلع ایندیوم بر آسیب سطحی فیلم نیترید گالیم
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش مقاله
تاثیر فرآیند رسوب پاشی اکسین نیترید قلع ایندیوم بر آسیب سطحی فیلم نیترید گالیم
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Superlattices and Microstructures - Volume 109, September 2017, Pages 750-757
نویسندگان
, , , , , , ,