کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8023122 1517437 2016 95 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Perspectives on oblique angle deposition of thin films: From fundamentals to devices
ترجمه فارسی عنوان
چشم اندازها در زمینه قرار دادن زاویه لبه فیلم های ناز: از اصول به دستگاه
کلمات کلیدی
رسوب زاویه ای، زاویه تماشای رسوب، اسپری مگنترون، تبخیر الکترون پرتو، فیلم های نانوساختار، مدل سازی رشد، مونت کارلو، دستگاه های فیلم نازک، اکسید رسانای شفاف، برداشت انرژی، سنسورها، دستگاه های نوری، مرطوب کننده
ترجمه چکیده
پیکربندی زاویه ای شبیه به یک ابزار ارزشمند برای رسوب نازک فیلم نانوساختار است. این بررسی توضیحات به روز از اصول آن، از جمله مکانیزم های اتمی برای رشد فیلم و امکانات نانوساختاری، و همچنین توضیحات جامع از برنامه های بهره مند از ترکیب آن در دستگاه های واقعی. در مقایسه با بررسیهای دیگر در مورد موضوع، پرتو الکترون الکترونیک کمک روش تبخیر همراه با روش های دیگر که در زاویه های شیب دار کار می کنند، شامل، اسپکترومغناطیسی مگنترون و لیزر پالسی یا روش رسوب گذاری یونی با پرتوهای یونی، تحلیل می شود. برای تعریف تفاوت های موجود بین رسوب در خلاء و یا در حضور یک پلاسما، شبیه سازی مکانیکی به طور انتقادی تجدید نظر می شود، بحث پارادایم های به اصطلاح نظیر قاعده مماس یا کوزینس و پیشنهاد مدل های جدید که توضیح رشد نانوساختار متخلخل متخلخل را می دهد. در بخش دوم، ما شرح گسترده ای از برنامه های کاربردی که در آن فیلم های نازک پوشیده از زاویه لبه با اهمیت هستند، ارائه می کنیم. از آنجا، با توجه به الزامات تعداد زیادی از دستگاه های کاربردی که در حال حاضر این فیلم ها مورد استفاده قرار می گیرند (مانند سلول های خورشیدی، باتری لی، عینک های الکتروکرومیک، مواد بیولوژیکی، حسگرها و غیره)، ادامه می دهیم و سپس نحوه و دلیل آن را شرح می دهیم این مواد نانوساختار با این نیازها ملاقات می کند.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش مقاله
چشم اندازها در زمینه قرار دادن زاویه لبه فیلم های ناز: از اصول به دستگاه
چکیده انگلیسی
The oblique angle configuration has emerged as an invaluable tool for the deposition of nanostructured thin films. This review develops an up to date description of its principles, including the atomistic mechanisms governing film growth and nanostructuration possibilities, as well as a comprehensive description of the applications benefiting from its incorporation in actual devices. In contrast with other reviews on the subject, the electron beam assisted evaporation technique is analyzed along with other methods operating at oblique angles, including, among others, magnetron sputtering and pulsed laser or ion beam-assisted deposition techniques. To account for the existing differences between deposition in vacuum or in the presence of a plasma, mechanistic simulations are critically revised, discussing well-established paradigms such as the tangent or cosine rules, and proposing new models that explain the growth of tilted porous nanostructures. In the second part, we present an extensive description of applications wherein oblique-angle-deposited thin films are of relevance. From there, we proceed by considering the requirements of a large number of functional devices in which these films are currently being utilized (e.g., solar cells, Li batteries, electrochromic glasses, biomaterials, sensors, etc.), and subsequently describe how and why these nanostructured materials meet with these needs.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Progress in Materials Science - Volume 76, March 2016, Pages 59-153
نویسندگان
, , , ,