کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9830286 | 1524506 | 2005 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Wet oxidation for detecting surface defect pits of AlGaAs related semiconductors
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We report on a new technology to detect the surface defect (SD) density of AlGaAs related materials by wet thermal oxidation. After oxidation, the color around the defect differs from that of the surrounding under an optical microscope. The defect density can be easily counted even in the case of low density. Because the oxidation temperature, 370 °C, is much lower than layer-growth temperature, oxidation does not induce additional SD. The density counted in this way is exactly the real one.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 274, Issues 1â2, 15 January 2005, Pages 138-143
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 274, Issues 1â2, 15 January 2005, Pages 138-143
نویسندگان
C.S. Peng, J. Konttinen, T. Jouhti, H.F. Liu, M. Pessa,