![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Investigation of thermal stability of hydrogenated amorphous Si/Ge multilayers
Keywords: 66.30.-h; 61.05.cf; 61.72.uf; 66.30.âh; 66.30.Pa; Hydrogenated Si/Ge multilayer; Thermal stability; Diffusion;