دانلود مقالات ISI درباره ماشینکاری مکانیکی شیمیایی + ترجمه فارسی

Compressive elastic moduli and polishing performance of non-rigid core/shell structured PS/SiO2 composite abrasives evaluated by AFM

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Core/shell composite microspheres; Compressive Young's modulus; Chemical mechanical polishing;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Defect reduction of replacement metal gate aluminum chemical mechanical planarization at 28 nm technology node

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Replacement metal gate; High-k metal gate; Chemical mechanical polishing; Fall on particles; Micro-scratch; Pitting; Zeta potential; Galvanic corrosion;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

The use of potassium peroxidisulphate and Oxone® as oxidizers for the chemical mechanical polishing of silicon wafers

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Silicon; Chemical Mechanical Polishing; Ceria; Oxidants; Material Removal; pH-value;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Effect of zone pressure on wafer bending and fluid lubrication behavior during multi-zone CMP process

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Fluid pressure; Wafer bending; Zone pressure; Edge pressure;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Effects of (002) β-Ta barrier on copper chemical mechanical polishing behavior

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Semiconductors; Barriers; Chemical mechanical polishing

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Investigations on the removal mechanisms of diverse alumina based polishing slurries for chemical mechanical polishing of electro-plated NiFe 45/55

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Magnetic MEMS; Chemical mechanical polishing; Alumina based slurry; Removal mechanism; Atomic force microscopy; Nanoindentation

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Wafer bending/orientation characterization and their effects on fluid lubrication during chemical mechanical polishing

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Hydrodynamic lubrication; Wafer bending; Wafer orientation

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Investigation of aluminum film properties and microstructure for replacement metal gate application

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Replacement metal gate; High-k metal gate; Chemical mechanical polishing; Physical vapor deposition; Resistivity; Reflectivity; Pinhole; Wetting layer; Work function metal

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Chemically enhanced synergistic wear: A copper chemical mechanical polishing case study

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Copper; Synergy; Electrochemistry; Corrosion-wear

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Shear thickening and defect formation of fumed silica CMP slurries

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Fumed silica; Rheology; Shear thickening; High shear; CMP defects

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 10 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

High polishing selectivity ceria slurry for formation of top electrode in spin-transfer torque magnetic random access memory

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Spin-transfer torque magnetic random access memory; Chemical mechanical polishing; Ruthenium; Tantalum; Poly(acrylamide); Ceria; Zeta potential

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Study of glass frit induced stiction using a micromirror array

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; LDV; Laser-Doppler vibrometer; AR-XPS; Angle resolved X-ray photoelectron spectroscopy; CVD; Chemical vapor deposition; CMP; Chemical mechanical polishing;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Preparation of porous Fe2O3/SiO2 nanocomposite abrasives and their chemical mechanical polishing behaviors on hard disk substrates

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Hard disk substrate; Porous Fe2O3/SiO2 nanocomposite; Material removal rate; Polishing active element;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

CMP process development for the via-middle 3D TSV applications at 28 nm technology node

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Through-silicon-via; Chemical mechanical polishing; Via-middle; Electrochemical deposition; Inter-layer dielectric

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Ultraprecision CMP for sapphire, GaN, and SiC for advanced optoelectronics materials

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Sapphire; Gallium nitride; Silicon carbide; Chemical mechanical polishing; Colloidal silica;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Organic diamond disk versus brazed diamond disk for dressing a chemical–mechanical polishing pad

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Polyurethane pad; Diamond conditioner

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

A polishing process for nonlinear optical crystal flats based on an annular polyurethane pad

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Nonlinear optical crystal flats; Annular polyurethane pad; Conditioner; Septum and holder system;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Influence of anionic polyelectrolyte addition on ceria dispersion behavior for quartz chemical mechanical polishing

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Ceria; Poly(acrylic acid-co maleic acid) sodium salt; Dispersion; Quartz; Chemical mechanical polishing

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

A hybrid polysilicon planarization for suppressing dishing defects

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Dishing; Hybrid planarization; Material selectivity; MEMS; Protective film;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Combined ultrasonic vibration and chemical mechanical polishing of copper substrates

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Diamond disk; Pad; Ultrasonic machining

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Surface-complex films of guanidine on tantalum nitride electrochemically characterized for applications in chemical mechanical planarization

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Impedance spectroscopy; Oxide layer; Surface film; Tantalum nitride;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Recycling CMP sludge as a resource in concrete

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Nano-particles; CMP sludge-concrete; Compressive strength; Resource

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Novel CVD diamond-coated conditioner for improved performance in CMP processes

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical Mechanical Polishing; Diamond; CVD Coatings; Corrosion-wear; Slurry erosion

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Effect of slurry components on chemical mechanical polishing of copper at low down pressure and a chemical kinetics model

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Low down pressure; Chemical kinetics; Chelating agent; H2O2; Copper

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Role of interparticle forces during stress-induced agglomeration of CMP slurries

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical Mechanical Polishing; Agglomeration; Shear stress; Interparticle force

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Transformation of silica fume into chemical mechanical polishing (CMP) nano-slurries for advanced semiconductor manufacturing

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Silica nanopowders; Chemical processing; Size distribution; Chemical mechanical polishing; Advanced semiconductors

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Studies on surface preparation and smoothness of nanostructured Bi2Te3-based alloys by electrochemical and mechanical methods

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Nanostructures; Bismuth telluride based alloys; Thermoelectrics; Electrolysis; Chemical mechanical polishing

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Preparation, characterization and oxide CMP performance of composite polystyrene-core ceria-shell abrasives

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; PS/CeO2 composite abrasive; Core–shell structure; Chemical mechanical polishing

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Effect of hydrogen peroxide concentration on surface micro- roughness of silicon wafer after final polishing

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; H2O2; Surface roughness; Open circuit potential; Impedance

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Optimization of slurry components for a copper chemical mechanical polishing at low down pressure using response surface methodology

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Low down pressure; Slurry components; Response surface methodology; Copper

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Experimental and modeling studies of particle removal in post silicon chemical mechanical planarization cleaning process

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Buffing; Chemical mechanical polishing; Forces; Model; Particle removal efficiency; Silicon dioxide

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Investigation of chemical mechanical polishing of zinc oxide thin films

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Transparent conducting oxide; Zinc oxide; Chemical mechanical polishing; Thin films;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

CMP process run-to-run control to adjust margin in control limit

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Semiconductor device manufacture; Chemical mechanical polishing; Within-wafer distribution; Run-to-run control; Advanced process control; Quality control

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Preparation of monodisperse polystyrene/silica core-shell nano-composite abrasive with controllable size and its chemical mechanical polishing performance on copper

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; PS/SiO2; Core-shell; Nano-composite abrasive; Copper; Chemical mechanical polishing;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Mechanism of high selectivity in ceria based shallow trench isolation chemical mechanical polishing slurries

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Shallow trench isolation; Selectivity; Abrasives; Amino acid; Active sites

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Texture investigation in the trench depth direction of very fine copper wires less than 100 nm wide using electron backscatter diffraction

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Cu wire; Electron backscatter diffraction; Texture; Grain size; Resistivity; Chemical mechanical polishing; Coincidence lattice site boundary

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Chemical mechanical polishing of hard disk substrate with α-alumina-g-polystyrene sulfonic acid composite abrasive

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Hard disk substrate; α-Alumina-g-polystyrene sulfonic acid; Composite abrasive; Cleaning

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Synthesis, characterization of CeO2@SiO2 nanoparticles and their oxide CMP behavior

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; CeO2@SiO2; Composite abrasives; Chemical mechanical polishing; Oxide polishing behavior

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Step height removal mechanism of chemical mechanical planarization (CMP) for sub-nano-surface finish

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Particle shape; Step height; Cerium oxide; Fumed silica; Colloidal silica

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Role of amines and amino acids in enhancing the removal rates of undoped and P-doped polysilicon films during chemical mechanical polishing

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Polysilicon; Removal rate; Chemical mechanical polishing; Potentiodynamic and open circuit potential measurements; Amines; Doping

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Surface modification of ceria nanoparticles and their chemical mechanical polishing behavior on glass substrate

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Surface modification; Ceria; γ-Aminopropyltriethoxysilane; Chemical mechanical polishing;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Synthesis, characterization of ceria-coated silica particles and their chemical mechanical polishing performance on glass substrate

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Ceria-coated silica particle; Chemical mechanical polishing; Poly(vinylpyrrolidone); Glass substrate;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Characteristics of chemical mechanical polishing using graphite impregnated pad

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Graphite; Polishing pad

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Polycrystalline diamond shaving conditioner for CMP pad conditioning

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Polyurethane pad; Diamond conditioner

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Generation and removal of pits during chemical mechanical polishing process for MgO single crystal substrate

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; MgO single crystal substrate; Chemical mechanical polishing; Chemical etching; Pit;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Inhibitors for organic phosphonic acid system abrasive free polishing of Cu

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Abrasive free; Copper; Inhibitor; Organic phosphonic acid;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Surface charge tuning of ceria particles by titanium doping: Towards significantly improved polishing performance

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Titanium-doped ceria; Chemical mechanical polishing; Surface charge; AFM; Micro-scale abrasion

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Elaboration of (1 1 1) oriented 3C-SiC/Si layers for template application in nitride epitaxy

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Silicon carbide; Epitaxy of thin films; Gallium nitride; Chemical mechanical polishing;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Recovery of hazardous semiconductor-industry sludge as a useful resource

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Sludge; Nano-particles; Cement mortar; Resource;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Novel diamond conditioner dressing characteristics of CMP polishing pad

Keywords: ماشینکاری مکانیکی شیمیایی; Chemical mechanical polishing; Polishing pad; Diamond conditioner

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه