![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
A heater plate assisted bake/chill system for photoresist processing in photolithography
Keywords: لیتوگرافی یا چاپ سنگی; Lithography; Mica heater; Thermoelectric; Temperature control