کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
11031534 1645971 2018 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Wet etching of TiN in 1-D and 2-D confined nano-spaces of FinFET transistors
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Wet etching of TiN in 1-D and 2-D confined nano-spaces of FinFET transistors
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 200, 15 November 2018, Pages 56-61
نویسندگان
, , , , , , , , , ,