کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1795288 | 1524483 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
In situ measurements of wafer bending curvature during growth of group-III-nitride layers on silicon by molecular beam epitaxy
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In this work we show how in situ measurements of wafer curvature helps for monitoring the strain relaxation in group-III-nitride layers grown by molecular beam eptixay on silicon. In particular, we show the efficiency of GaN/AlN interlayers for growing high quality AlGaN/GaN heterostructures with residual stress that largely compensates the one appearing upon cooling down to room temperature.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volumes 301–302, April 2007, Pages 71–74
Journal: Journal of Crystal Growth - Volumes 301–302, April 2007, Pages 71–74
نویسندگان
Y. Cordier, N. Baron, F. Semond, J. Massies, M. Binetti, B. Henninger, M. Besendahl, T. Zettler,