کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
539746 | 1450393 | 2010 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of Fresnel zone plates with 25 nm zone width using extreme ultraviolet holography
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Fabrication of Fresnel zone plates with 25 nm zone width using extreme ultraviolet holography Fabrication of Fresnel zone plates with 25 nm zone width using extreme ultraviolet holography](/preview/png/539746.png)
چکیده انگلیسی
In this article we report the fabrication of Fresnel zone plates (FZP) by recording the interference pattern of converging and diverging spherical waves at extreme ultraviolet wavelength (λ=13.5nm). The spherical waves are generated by two concentric annular parent zone plates. The recorded pattern shows a factor of two reduction in the smallest feature size (outermost zone width) compared to its parent counterparts that generate the spherical waves. FZPs with a zone width down to 16 nm have been recorded with this technique. We also present scanning transmission X-ray microscopy (STXM) results taken with a zone plate with 25 nm outermost zone width.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 87, Issues 5–8, May–August 2010, Pages 854–858
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 87, Issues 5–8, May–August 2010, Pages 854–858
نویسندگان
Sankha S. Sarkar, Harun H. Solak, Jörg Raabe, Christian David, J. Friso van der Veen,