Development of redox glasses and subsequent processing by means of pulsed laser deposition for realizing silicon-based thin-film sensors

در این کار، دو ماده مختلف شیشه ای حساس به ردوکس حساس برای تولید یک الکترود باز تولیدی مناسب ساخته شده است. اهداف شیشه ای خاص توسط فرآیند ریختن شیشه تهیه شده است. ساختار مبدل توسط تکنولوژی نیمه هادی معمولی بر پایه سیلیکون ساخته شده است. مواد فله شیشه ای برای اولین بار با استفاده از فرایند رسوب لیزر پالسی به حالت نازک فیلم در ساختارهای حسگر سپرده شد. سنسورهای ساخته شده از لحاظ جسمی و الکتروشیمیایی با استفاده از طیف سنجی فوتوالکترون اشعه ایکس، تعیین ضریب انبساط، امپدانس و اندازه گیری های پتانسیومتری اندازه گیری شده اند.