کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942476 1450291 2018 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Inductively coupled plasma nanoetching of atomic layer deposition alumina
ترجمه فارسی عنوان
نانو ذرات پلاسمایی الکتریکی با استفاده از الکترومغناطیسی
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
نانو ذرات پلاسمایی الکتریکی با استفاده از الکترومغناطیسی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 193, 5 June 2018, Pages 28-33
نویسندگان
, , , , , ,