کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942483 1450291 2018 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of the grid pattern on a roll mold by electron beam direct writing
ترجمه فارسی عنوان
ساخت الگوی شبکه بر روی قالب رول با نوشتن مستقیم پرتو الکترون
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
ساخت الگوی شبکه بر روی قالب رول با نوشتن مستقیم پرتو الکترون
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 193, 5 June 2018, Pages 41-46
نویسندگان
, ,