کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942692 1450298 2017 11 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Influence of slurry components on copper CMP performance in alkaline slurry
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Influence of slurry components on copper CMP performance in alkaline slurry
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volumes 183–184, 5 November 2017, Pages 1-11
نویسندگان
, , , ,