کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942821 1450326 2016 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Sensitivity of secondary electron yields and SEM images to scattering parameters in MC simulations
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Sensitivity of secondary electron yields and SEM images to scattering parameters in MC simulations
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 155, 2 April 2016, Pages 114-117
نویسندگان
, , , ,