کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942879 1450328 2016 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Supercritical carbon dioxide etching of transition metal (Cu, Ni, Co, Fe) thin films
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Supercritical carbon dioxide etching of transition metal (Cu, Ni, Co, Fe) thin films
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 153, 5 March 2016, Pages 5-10
نویسندگان
, , , , ,