کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942947 1450328 2016 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of high-resolution, self-aligned palladium electrodes
ترجمه فارسی عنوان
ساخت الکترودهای پالادیوم خود با ترازوی با وضوح بالا
کلمات کلیدی
خود ارضایی، پالادیوم، فرز یون چند دروازه،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
ساخت الکترودهای پالادیوم خود با ترازوی با وضوح بالا
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 153, 5 March 2016, Pages 105-109
نویسندگان
, , , , , ,