کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943484 1450344 2015 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Influence of tantalum/tantalum nitride barriers and caps on the high-temperature properties of copper metallization for wide-band gap applications
ترجمه فارسی عنوان
تأثیر تنگستن / تانتالم بر روی نیتریدهای تیتانیوم بر خواص دما بالا فلزکاری مس
کلمات کلیدی
نرم افزار کاربردی، فلزکاری مس، درجه حرارت بالا، تانتالیم، نیترید تانتالیم،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
تأثیر تنگستن / تانتالم بر روی نیتریدهای تیتانیوم بر خواص دما بالا فلزکاری مس
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 137, 2 April 2015, Pages 37-42
نویسندگان
, , , , ,