کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943829 1450369 2013 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Characterization of Ru-Mn composites for ULSI interconnects
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Characterization of Ru-Mn composites for ULSI interconnects
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 112, December 2013, Pages 103-109
نویسندگان
, , , , , , , , , , , ,