کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6943829 | 1450369 | 2013 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Characterization of Ru-Mn composites for ULSI interconnects
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Characterization of Ru-Mn composites for ULSI interconnects Characterization of Ru-Mn composites for ULSI interconnects](/preview/png/6943829.png)
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 112, December 2013, Pages 103-109
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 112, December 2013, Pages 103-109
نویسندگان
H. Wojcik, C. Krien, U. Merkel, J.W. Bartha, M. Knaut, M. Geidel, B. Adolphi, V. Neumann, C. Wenzel, M. Bendlin, K. Richter, D. Makarov,