دانلود رایگان مقاله ISI : الکترود و رابط بهینه شده برای افزایش قابلیت اطمینان از خازن فلز مقره با کیفیت بالا

Optimized electrode and interface for enhanced reliability of high-k based metal-insulator-metal capacitors

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 109, September 2013, Pages 148-151

Johannes Koch, Konrad Seidel, Wenke Weinreich, Stefan Riedel, Jung-Chin Chiang, Volkhard Beyer,