کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
728720 1461420 2014 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Improvement in gravimetric measurement for determining the porosity and thickness of porous silicon using an optimized solution
ترجمه فارسی عنوان
بهبود اندازه گیری گرانشی برای تعیین تخلخل و ضخامت سیلیکون متخلخل با استفاده از یک راه حل بهینه شده
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
چکیده انگلیسی

The effect of corrosion solution on detection accuracy of gravimetric measurements for determining the porosity and thickness of porous silicon was elaborately investigated. We found that the detection accuracy was remarkably affected by temperature and the composition of corrosion solution. The 1.0 M NaOH with 20% ethanol acted as a novel corrosion solution to remove porous silicon layer, which could improve the detection accuracy of gravimetric measurements for determining the porosity and thickness of porous silicon.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 26, October 2014, Pages 501–505
نویسندگان
, , , , , , ,