Comparison of crystal orientation mapping-based and image-based measurement of grain size and grain size distribution in a thin aluminum film

نقشه های جهت گیری کریستال نانوکریستال آل آلومینیوم با استفاده از پراش الکترونی دقت در یک میکروسکوپ الکترونی عبور داده شد. نقشه های جهت گیری پس از آن به یک سری از روش های تصفیه به خوبی تعریف شده برای حذف نقاط ضعف شاخص و مرزهای شبه ناهممتری مورد بررسی قرار گرفت. متوسط ​​اندازه دانه و توزیع اندازه دانه از شبکه مرزی بازسازی شده بدست آمد. اندازه دانه و توزیع اندازه دانه نیز با روش میکروسکوپ الکترونی انتقال داده شده بر اساس روش دستیابی تصویربرداری براق به دست آمده اندازه گیری شد و به صورت کمی با نتایج نقشه برداری جهت گیری مقایسه شد. مشخص شد که میانگین اندازه دانه از دو روش در خطای آزمایش بستگی دارد. از سوی دیگر، روش نقشه برداری جهت گیری، توزیع اندازه دانه های مختلفی را نسبت به توزیع بدست آورد که توسط روش دستیابی به دست آمده تولید شده است. دلایل تفاوت در توزیع ها مورد بحث قرار می گیرد.