کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8151218 | 1524436 | 2014 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
On mechanisms governing AlN and AlGaN growth rate and composition in large substrate size planetary MOVPE reactors
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: On mechanisms governing AlN and AlGaN growth rate and composition in large substrate size planetary MOVPE reactors On mechanisms governing AlN and AlGaN growth rate and composition in large substrate size planetary MOVPE reactors](/preview/png/8151218.png)
چکیده انگلیسی
We report about a MOVPE parameter study carried out on a Planetary Reactor to determine factors that govern the incorporation efficiency of aluminum and gallium into AlxGa1âxN, hence its solid composition x and growth rate. Parameter variations include pressure, flow rate, wafer and ceiling temperature, V-III-ratio, and Al/(Al+Ga) inlet ratio. The target composition is 0.15
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 393, 1 May 2014, Pages 103-107
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 393, 1 May 2014, Pages 103-107
نویسندگان
Martin Dauelsberg, Daniel Brien, Hendrik Rauf, Fabian Reiher, Johannes Baumgartl, Oliver Häberlen, Alexander S. Segal, Anna V. Lobanova, Eugene V. Yakovlev, Roman A. Talalaev,