![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Effect of hydrogen carrier gas on AlN and AlGaN growth in AMEC Prismo D-Blue® MOCVD platform
Keywords: B1 AlGaN; A1. Atomic force microscopy; A1. X-ray diffraction; A1. Computation simulation; A3. Metal organic chemical vapor deposition; B1. AlN; B1. AlGaN