کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9829300 | 1524487 | 2005 | 12 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Modelling of flash-lamp-induced crystallization of amorphous silicon thin films on glass
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Modelling of flash-lamp-induced crystallization of amorphous silicon thin films on glass Modelling of flash-lamp-induced crystallization of amorphous silicon thin films on glass](/preview/png/9829300.png)
چکیده انگلیسی
Thin polycrystalline silicon films are attractive for the fabrication of active matrix liquid crystal displays. We propose the use of flash lamp annealing to crystallize amorphous silicon layers on glass substrates as a low-cost manufacturing route. In this process, amorphous silicon can be crystallized both by solid phase crystallization (SPC) and in the super lateral growth (SLG) regime. We present a thermal model which incorporates the phase transitions during annealing and we have shown that predictions from the model are in good agreement with experimental observations. In addition, the model is a valuable aid to optimizing the process conditions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 285, Issues 1â2, 15 November 2005, Pages 249-260
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 285, Issues 1â2, 15 November 2005, Pages 249-260
نویسندگان
M. Smith, R. McMahon, M. Voelskow, D. Panknin, W. Skorupa,