![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Hydride vapor phase epitaxy of InN by the formation of InCl3 using In metal and Cl2
Keywords: 78.60.HK; 05.70.−a; 61.10.Nz; 73.61.Ey; 78.60.Hk; 81.05.Ea; 81.15.KkA1. Characterization; A3. Hydride vapor phase epitaxy; B1. Nitrides; B2. Semiconducting indium compounds