![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Keywords: لیتوگرافی الکترون پرتو; EB; electron beam; EBL; electron-beam lithography; ICP; inductively coupled plasma; ITO; indium tin oxide; NIL; nanoimprint lithography; RF; radio frequency; SEM; scanning electron microscopy; UV; ultraviolet; Nanotransfer printing; Silver ink; Stretchabl