دانلود مقالات ISI درباره حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما + ترجمه فارسی

Reduction of dislocation densities in single crystal CVD diamond by using self-assembled metallic masks

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Extended defects; Plasma etching; Diamond growth; Single crystal

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Influence of DC plasma modification on the selected properties and the geometrical surface structure of polylactide prior to autocatalytic metallization

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Polymers; Glow discharge; Plasma etching; Surface properties;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 10 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Phononic engineering of silicon using “dots on the fly” e-beam lithography and plasma etching

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Phononics; E-beam Lithography; Plasma etching; Thermoelectricity

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Characterisation of a novel electron beam lithography resist, SML and its comparison to PMMA and ZEP resists

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; SLM resist; Electron beam lithography; Lift-off; Plasma etching; Nanolithography

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Nanostructures of mixed-phase boron nitride via biased microwave plasma-assisted CVD

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Boron nitride; Nanostructures; Chemical vapor deposition; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Fabrication and characterization of pedestal optical waveguides using TeO2–WO3–Bi2O3 thin film as core layer

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Mach–Zehnder Interferometer; Pedestal; Optical waveguide; Thin film; Magnetron sputtering; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Etching properties of Na0.5K0.5NbO3 thin films by using inductively coupled CF4/Ar plasma

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; NKN; Plasma etching; CF4/Ar; XPS; AFM

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Effect of microwave remote plasma and radiofrequency plasma on the photoluminescence of (0001) epitaxial ZnO films

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Semiconductors; Photoluminescence spectroscopy; Plasma etching; Annealing

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Innovatively composite hard mask to feature sub-30 nm gate patterning

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Hard mask; Plasma etching; Sub-30 nm; Etch selectivity; Line width roughness; Gate patterning

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

A miniature fuel cell with monolithically fabricated Si electrodes – Reduction of residual porous Si on catalyst layer

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; MEMS; Fuel cell; Porous silicon; Plasma etching; Anodization; Wet plating

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Study of CNTs structural evolution during water assisted growth and transfer methodology for electrochemical applications

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Chemical vapor deposition (CVD); Etching; Plasma etching; Raman spectroscopy and scattering; SEM; Electrochemical properties;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Plasma and short pulse laser treatment of medical grade PEEK surfaces for controlled wetting

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Laser processing; Wetting; Polymers; Biomaterials;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Plasma nitriding using high H2 content gas mixtures for a cavitation erosion resistant steel

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma nitriding; Plasma etching; High H2 content gas mixture; CA-6NM martensitic stainless steel; Cavitation erosion;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 10 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

SiGe derivatization by spontaneous reduction of aryl diazonium salts

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Germanium; Diazonium salts; Derivatization; Film thickness; Plasma etching; Semiconductors;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 10 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Processing of photonic crystals in InP membranes by focused ion beam milling and plasma etching

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Focused ion beam; MEMS; Photonic crystals; Hardmask; Indium phosphide; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Tailored etching processes for UV-NIL resist material for Si-antireflective surfaces

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Nanoimprint; PV; Plasma etching; Nano texturing; Photovolatics; Anti-reflection

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

P-type and N-type multi-gate polycrystalline silicon vertical thin film transistors based on low-temperature technology

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; 3D structure; Thin film transistor (TFT); Plasma etching; Polycrystalline silicon

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Quasi-vertical multi-tooth thin film transistors based on low-temperature technology (T ⩽ 600 °C)

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Thin film transistor (TFT); Plasma etching; Polycrystalline silicon

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Inductively Coupled Plasma etching of amorphous silicon nanostructures over nanotopography using C4F8/SF6 chemistry

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Nanowire; Nanotopography; Silicon; Silicon dioxide; Charging effects

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

The influence of microwave-assisted hydrogen plasma treatment on electroless Ni–P coatings

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Thin films; Coatings; Plasma etching; Electron microscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 11 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Large scale nanopatterning of graphene

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Graphene; Zig-zag; Nanopatterning; Electron beam lithography (EBL); Plasma etching; Annealing

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

CF3+ etching silicon surface: A molecular dynamics study

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Molecular dynamics; Fluorocarbosilyl;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Selective etching of GaAs over Al0.2Ga0.8As semiconductor in pulsed DC BCl3/SF6 plasmas

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; GaAs; AlGaAs; Plasma etching; Pulsed DC; Selectivity

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Efficient surface enhanced Raman scattering from Cu2O porous nanowires transformed from CuO nanowires by plasma treatments

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Nanostructure; Plasma etching; Porous; Phase transition

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Oxygen plasma assisted end-opening and field emission enhancement in vertically aligned multiwall carbon nanotubes

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Nanostructures; Raman spectroscopy; Field emission; Plasma etching; Surface properties

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Effect of rare-earth elements on the plasma etching behavior of the RE–Si–Al–O glasses

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Rare-earth element; Glass; XPS

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Etching characteristics of silicon oxide using amorphous carbon hard mask in dual-frequency capacitively coupled plasma

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Silicon dioxide; Dual frequency superimposed capacitively coupled plasma; Amorphous carbon layer; Plasma etching; Line edge roughness

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

A set of cross sections and transport coefficients for electrons in HBr

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; HBr; Swarms; Cross sections; Transport coefficients; Fluid models; Plasma etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Controlled protein adsorption on microfluidic channels with engineered roughness and wettability

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Polymeric microfluidics; Plasma processing; Plasma etching; Protein adsorption; Roughness; Wetting properties

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

A numerical method for the efficient atomistic simulation of the plasma-etch of nano-patterned structures

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Kinetic Monte Carlo

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Controlled thin graphitic petal growth on oxidized silicon

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Graphitic petals; Plasma CVD; Plasma etching; Controlled growth; Morphology; Growth mechanism

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Low resistivity contacts to plasma etched Mg-doped GaN using very low power inductively coupled plasma etching

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Gallium nitride; p-GaN; Plasma etching; Ohmic contacts

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Assessment of interface roughness during plasma etching through the use of real-time ellipsometry

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Ellipspometry; Surface roughness; Plasma etching; Real-time monitoring;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Black SiC formation induced by Si overlayer deposition and subsequent plasma etching

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Silicon carbide; Roughening; Reflectance; Black silicon; Plasma etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

A direct-write, resistless hard mask for rapid nanoscale patterning of diamond

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Diamond; Lithography; Hard mask; Focused ion beam; Dry etching; Plasma etching; Nanoindentation

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Large cross-section edge-coupled diamond waveguides

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Diamond; Waveguide; Inkjet printing; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

The effects of gas flow rates on the etch characteristics of silicon nitride with an extreme ultra-violet resist pattern in CH2F2/N2/Ar capacitively coupled plasmas

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Silicon nitride (Si3N4); EUV resist; Etch selectivity; Line edge roughness (LER); Plasma etching; Dual-frequency superimposed capacitively coupled plasma (DFS-CCP)

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Study on mechanism of etching in low pressure radio-frequency plasmas

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Profile evolution; Rf bias; Sheath

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

The fabrication and dry etching of poly-Si/TaN/Mo gate stack in the metal inserted poly-Si stack structure

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Mo; TaN; Metal gate stack; MIPS; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Fabrication of submicron scale vertically aligned diamond rods by mask-free oxygen plasma etching

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Diamond rods; Submicron; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Atmospheric-pressure argon plasma etching of spin-coated 3,4-polyethylenedioxythiophene:polystyrenesulfonic acid (PEDOT:PSS) films for cupper phtalocyanine (CuPc)/C60 heterojunction thin-film solar cells

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Organic thin-film solar cells; PEDOT:PSS; CuPc/C60; Plasma etching; Real time ellipsometric study

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

A study on the etch characteristics of HfAlO3 dielectric thin film in Cl2/Ar gas chemistry using inductively coupled plasma system

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Hafnium aluminum oxide; Etching; High dielectric constant materials; Inductively coupled plasma; Plasma etching; Chlorine; X-ray photoelectron spectroscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Improvement in etch selectivity of SiO2 to CVD amorphous carbon mask in dual-frequency capacitively coupled C4F8/CH2F2/O2/Ar plasmas

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; CVD a-C; Silicon dioxide (SiO2); Plasma etching; Dual-frequency superimposed capacitively coupled plasma (DFS-CCP)

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Dry etching process of GaAs in capacitively coupled BCl3-based plasmas

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; RIE; GaAs; BCl3; BCl3/N2; BCl3/Ar

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Performance enhancement of membrane electrode assemblies with plasma etched polymer electrolyte membrane in PEM fuel cell

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Polymer electrolyte membrane fuel cell; Plasma etching; Membrane electrode assembly; Surface modified membrane

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

The dry etching of a sol–gel deposited ZnO thin film in a high density BCl3/Ar plasma

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Zinc oxide; Plasma etching; Etch rate; Selectivity; X-ray Photoelectron Spectroscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Microstructural characterization of thin gold films on a polyimide substrate

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Gold; Thin film; Texture; Flexible substrate; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Effect of high-frequency on etching of SiCOH films in CHF3 dual-frequency capacitively coupled plasmas

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; SiCOH; Thin films; Plasma etching; Dual-frequency plasma; X-ray photoelectron spectroscopy; Fourier transformed infrared spectroscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Microwave-induced chemical etching (MCE): A fast etching technique for the solid polymeric track detectors (SPTD)

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Chemical etching; Electro-chemical etching; Ultrasonic etching; Plasma etching; Microwave induced chemical etching; Solid polymeric track detectors (SPTD)

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Highly porous SnO2 fibers by electrospinning and oxygen plasma etching and its ethanol-sensing properties

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Highly porous; Tin dioxide fibers; Electrospinning; Plasma etching; Ethanol-sensing properties

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه