![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Reduction of dislocation densities in single crystal CVD diamond by using self-assembled metallic masks
Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Extended defects; Plasma etching; Diamond growth; Single crystal