کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1666931 | 1518083 | 2012 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Etching characteristics of silicon oxide using amorphous carbon hard mask in dual-frequency capacitively coupled plasma
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This study examined the effects of different frequency combinations, 27.12/2 MHz and 60/2 MHz, and the gas flow ratio of dual-frequency capacitively coupled CH2F2/C4F8/O2/Ar plasmas on the etch characteristics of silicon oxide. The etch rate of the SiO2 layer decreased and the etch selectivity increased with increasing flow ratio, Q(CH2F2), of CH2F2/(CH2F2 + C4F8). The etch rates of SiO2 and the chemical-vapor deposited amorphous carbon layer decreased with increasing Q(CH2F2) but the etch selectivity of SiO2 over the ACL increased. The etch rate of SiO2 at 60/2 MHz was faster than that at 27.12/2 MHz. In addition, the line edge roughness and critical dimension values tended to increase with increasing Q(CH2F2).
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 521, 30 October 2012, Pages 83–88
Journal: Thin Solid Films - Volume 521, 30 October 2012, Pages 83–88
نویسندگان
J.H. Lee, B.S. Kwon, N.-E. Lee,