دانلود مقالات ISI درباره حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما + ترجمه فارسی

Plasma–surface interactions for advanced plasma etching processes in nanoscale ULSI device fabrication: A numerical and experimental study

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Cl- and Br-based plasmas; Silicon; High-k dielectrics; Metal electrode materials; Profile simulation; MD simulation; ULSI

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Analysis of adopting an integrated decision making trial and evaluation laboratory on a technology acceptance model

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Technology acceptance model (TAM); Theoretical extension of technology acceptance model (TAM2); Unified theory of acceptance and use of technology (UTAUT); Decision making trial and evaluation laboratory (DEMATEL); High technology industry; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 10 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Plasma etching of virtually stress-free stacked silicon nitride films

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Stacked “triplex” silicon nitride films; Plasma etching; Transmission FTIR spectroscopy; SEM

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Understanding the internal friction of a silicon micro-mechanical oscillator

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Internal friction; Micro-mechanical oscillator; Surface adsorbates; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Highly selective dry etching of alternating phase-shift mask (PSM) structures for extreme ultraviolet lithography (EUVL) using inductively coupled plasmas (ICP)

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Extreme ultraviolet lithography (EUVL) mask; Alternating phase-shift mask (PSM); Inductively coupled plasma (ICP); Plasma etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Microtrenching geometry of 6H–SiC plasma etching

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; 6H–SiC; Plasma etching; Microtrench; Width; Depth

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Modeling of plasma process data using a multi-parameterized generalized regression neural network

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Generalized regression neural network; Genetic algorithm; Plasma etching; Statistical regression model; Training factor; Multi-parameterized spreads

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Surface morphology and light scattering properties of plasma etched ZnO:B films grown by LP-MOCVD for silicon thin film solar cells

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Zinc oxide; LP-MOCVD; Plasma etching; Light scattering

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Plasma processing for polymeric microfluidics fabrication and surface modification: Effect of super-hydrophobic walls on electroosmotic flow

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; PMMA; Microfluidics; Superhydrophilic; Superhydrophobic; Electroosmotic flow; Flow in superhydrophobic channels

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Effect of H2 and O2 plasma etching treatment on the surface of diamond-like carbon thin film

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; 78.55.Qr; 78.30.−j; 71.55.Jv; 77.84.Bw; Diamond-like carbon; Plasma etching; Surface treatment; Hydrophilic;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Inductively coupled plasma etching of nano-patterned sapphire for flip-chip GaN light emitting diode applications

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Light emitting diodes; Surface texturing; Plasma etching; Sapphire; GaN

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Prediction of etching results and etching stabilization by applying principal component regression to emission spectra during in-situ cleaning

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Advanced process control; Statistical modeling; Plasma diagnostics

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Interaction between hydrogen plasma and hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; 64.43.-j; 78.30.-j; 81.65.Cf; Hydrocarbon; Hydrogen; Plasma etching; Infrared spectroscopy;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Preparation of transparent BN films with superhydrophobic surface

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Superhydrophobic surface; BN films; Plasma etching; Wettability;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Infinitely high etch selectivity during CH4/H2/Ar inductively coupled plasma (ICP) etching of indium tin oxide (ITO) with photoresist mask

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; ITO; Plasma etching; Infinite etch selectivity; Inductively coupled plasma

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Deep etch-induced damage during ion-assisted chemical etching of sputtered indium–zinc–oxide films in Ar/CH4/H2 plasmas

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Damage; Transparent conducting oxides; Implantation; Auger Electron Spectroscopy; Indium–zinc–oxide

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Investigation of particle reduction and its transport mechanism in UHF-ECR dielectric etching system

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Particle reduction; Plasma etching; Thermophoretic force; Rotational temperature

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Investigation of sub-nm ALD aluminum oxide films by plasma assisted etch-through

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Ultra-thin layer; Atomic layer deposition; Plasma etching; Aluminum oxide; Scanning electron microscopy; Atomic force microscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Polymer pre-treatment by linear anode layer source plasma for adhesion improvement of sputtered TiN coatings

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Coating of polymers; Titanium nitride; Room temperature magnetron sputtering; Plasma etching; Anode layer source; PA; PC; PET

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Exploration of waveguide fabrication from thermally evaporated Ge–Sb–S glass films

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; 42.82.E; 52.75.R; 42.70.C; 78.66.JChalcogenide films; Waveguide fabrication; Raman spectroscopy; Plasma etching; Lift-off; Waveguide loss

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Deep plasma etching of glass with a silicon shadow mask

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Glass; Silicon; Shadow mask; C4F8; Aspect ratio

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Effects of CH2F2 and H2 flow rates on process window for infinite etch selectivity of silicon nitride to ArF PR in dual-frequency CH2F2/H2/Ar capacitively coupled plasmas

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Silicon nitride (Si3N4); ArF photoresist; Etch selectivity; Dual-frequency capacitively coupled plasma

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 13 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Planarizing CVD diamond films by using hydrogen plasma etching enhanced carbon diffusion process

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Diamond film; Plasma etching; Carbon diffusion; Microwave plasma CVD

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Molecular dynamics simulation analyses on injection angle dependence of SiO2 sputtering yields by fluorocarbon beams

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Molecular dynamics simulations; Fluorocarbon; Plasma etching; Plasma surface interaction

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Fabrication of silicon field-emission arrays using masks of amorphous hydrogenated carbon films

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Field-emission devices; Amorphous hydrogenated carbon; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Plasma etching and feature evolution of organic low-k material by using VicAddress

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Feature profile; Competitive process between etching and deposition

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Surface wetting phenomena of plasma polymer-coated sheets of poly(l-lactic acid)/poly(butylene succinate)

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; PLLA/PBS blend sheets; Plasma etching; Surface roughness; Plasma polymer coating; Silicone monomers; Water repellency

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Effect of doping elements on ZnO etching characteristics with CH4/H2/Ar plasma

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Doped-ZnO; Plasma etching; Inductively coupled plasma; XPS; OES

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Surface oxidation of Al masks for deep dry-etch of silica optical waveguides

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; 52.77; 52.40; 81.15; 81.65; 82.45Plasma oxidation; plasma etching; Al2O3 mask; Silica optical waveguides; Sidewall roughness

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Surface roughness of silicon oxynitride etching in C2F6 inductively coupled plasma

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Silicon oxynitride; Surface roughness; Atomic force microscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

850 nm wavelength range nanoscale resonant optical filter fabrication using standard microelectronics techniques

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Resonant grating filter; Sub-wavelength grating; E-beam lithography; CHF3

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Etching of SiC by energetic F2: Molecular dynamics simulation

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; 52.65.Yy; 81.65.Cf; 52.77.Dq; Molecular dynamics methods; Surface; Silicon carbide; Plasma etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Partial X-ray photoelectron spectroscopy to constructing neural network model of plasma etching surface

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; X-ray photoelectron spectroscopy; Surface roughness; Neural network; Atomic force microscopy; Plasma etching; Model

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Optical emission diagnostics of etching of low-k dielectrics in a two frequency inductively coupled plasma

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Low-k materials; Plasma etching; Inductively coupled plasmas

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Plasma/reactor walls interactions in advanced gate etching processes

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Process drift; Chamber walls cleaning and conditioning; Aluminum fluoride

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Wavelet uniformity of plasma-processed surface roughness

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Wavelet; Surface roughness; Nonuniformity; Atomic force microscopy; Plasma etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Comparison of etching characteristics of SiO2 with ArF photoresist in C4F6 and C4F8 based dual-frequency superimposed capacitively coupled plasmas

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Dual-frequency capacitively coupled plasma etching; Silicon oxide; 193 nm photoresist

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

High-performance and damage-free neutral-beam etching processes using negative ions in pulse-time-modulated plasma

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Neutral beam; ULSI; Plasma etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Thin film processing using S-layer proteins: Biotemplated assembly of colloidal gold etch masks for fabrication of silicon nanopillar arrays

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Nanobiotechnology; Deinococcus radiodurans; S-layer proteins; Silicon nanopillar; Plasma etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 13 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Electrochemical synthesis and application of NF3

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Nitrogen trifluoride; Electrochemical fluorination; Plasma etching; Functional thin film; Silicon carbide

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 15 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Interaction of SiF3 with silicon surface: Molecular dynamics simulation

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Surface; Plasma etching; Silicon; Molecule dynamics; Ion-bombardment

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Suppression of carbon depletion from carbon-doped low-k dielectric layers during fluorocarbon based plasma etching

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Carbon depletion; Carbon-doped oxide; XPS

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Surface reaction and B atom segregation in ECR chlorine plasma etching of B-doped Si1−xGex epitaxial films

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Electron–cyclotron–resonance chlorine plasma; Plasma etching; B-doped Si1−xGex; Radical dominant etching; Segregation

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Etching characteristics of Ta and TaN using Cl2/Ar inductively coupled plasma

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Ta; TaN; Plasma etching; Extreme ultraviolet lithography; Inductively coupled plasma

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Development of plasma etching process for sub-50 nm TaN gate

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; TaN etching; HfAlO; DPS; Plasma etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Microtrench of oxynitride thin films in a C2F6 inductively coupled plasma

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Microtrench; SiON film;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Microtrench depth and width of SiON plasma etching

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Silicon oxynitride film; Microtrenching; Width; Depth; Optimization

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Surface analytical studies of Ar-plasma etching of thin heptadecafluoro-1-decene plasma polymer films

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; 52.77.Bn; 68.55.Jk; Plasma polymer; Plasma etching; Teflon-like films; Morphology; Surface;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Plasma etching of high-k and metal gate materials

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Chlorine-containing plasma; High-k dielectrics; Metal electrode materials; HfO2; Pt; TaN

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Modeling of silicon oxynitride etch microtrenching using genetic algorithm and neural network

Keywords: حکاکی پلاسما اچینگ پلاسما; Plasma etching; Silicon oxynitride film; Microtrenching; Neural network; Statistical experimental design

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه