کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10669681 | 1008781 | 2014 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
In situ imaging ellipsometer using a LiNbO3 electrooptic crystal
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
An imaging ellipsometer using a LiNbO3 electrooptic crystal was developed for in situ measurement. The basic configuration of polarizer-compensator-window1-sample-window2-analyzer system was employed. Ellipsometric imaging was made from intensity images measured at 4-step phase modulation. Ex situ and in situ measurements were performed for a silicon wafer and a SiO2 film thermally grown on the silicon substrate to examine the functionality of this ellipsometer. The measurement results show the feasibility of the application of this system to the qualitative in situ measurements of samples.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 571, Part 3, 28 November 2014, Pages 532-537
Journal: Thin Solid Films - Volume 571, Part 3, 28 November 2014, Pages 532-537
نویسندگان
Lianhua Jin, Yusuke Wakako, Kuniharu Takizawa, Eiichi Kondoh,