کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10669689 | 1008781 | 2014 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Assessment of non-uniform thin films using spectroscopic ellipsometry and imaging spectroscopic reflectometry
ترجمه فارسی عنوان
ارزیابی فیلمهای نازک غیر یکنواخت با استفاده از بیومسومتری اسپکتروسکوپی و بازتابی از طیف سنجی تصویربرداری
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
زاویه سنج طیف سنجی زاویه متغیر، نقشه برداری طیف سنجی بیضه، بازتابنده ی اسپکتروسکوپی تصویربرداری، فیلم های نازک یکنواخت،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
Standard variable-angle spectroscopic ellipsometry, mapping spectroscopic ellipsometry with microspot and imaging spectroscopic reflectometry are applied to optical characterisation of a thin SiOxCyHz film considerably non-uniform in thickness and which is also suspected of non-uniformity also in the optical constants. It is shown that using the combination of these three optical methods, enables us to determine the spectral dependencies of the optical constants of the film together with parameters characterising the shape of thickness non-uniformity and fine map of local thickness. The mapping spectroscopic ellipsometry with microspot enables deciding whether the film is non-uniform in optical constants. For the thin film studied it is found that the non-uniformity in optical constants is under experimental accuracy. The consistency of results obtained using individual techniques is checked and the advantages and disadvantages of the techniques are discussed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 571, Part 3, 28 November 2014, Pages 573-578
Journal: Thin Solid Films - Volume 571, Part 3, 28 November 2014, Pages 573-578
نویسندگان
David NeÄas, Ivan OhlÃdal, Daniel Franta, VladimÃr Äudek, Miloslav OhlÃdal, JiÅà Vodák, Lucia Sládková, Lenka ZajÃÄková, Marek EliáÅ¡, FrantiÅ¡ek VižÄa,