کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10669937 1008845 2012 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effects of deposition conditions of the Al film in Al/glass specimens and annealing conditions on internal stresses and hillock formations
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Effects of deposition conditions of the Al film in Al/glass specimens and annealing conditions on internal stresses and hillock formations
چکیده انگلیسی
► Hillocks can be avoided if σan is lower - 28.7 MPa. ► The number of hillocks is linearly proportional to the values of σan. ► Al-film thickness, annealing temperature and annealing time had a significant effect on the σan parameter.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 16, 1 June 2012, Pages 5353-5360
نویسندگان
, ,