کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10669937 | 1008845 | 2012 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effects of deposition conditions of the Al film in Al/glass specimens and annealing conditions on internal stresses and hillock formations
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
⺠Hillocks can be avoided if Ïan is lower - 28.7 MPa. ⺠The number of hillocks is linearly proportional to the values of Ïan. ⺠Al-film thickness, annealing temperature and annealing time had a significant effect on the Ïan parameter.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 16, 1 June 2012, Pages 5353-5360
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 16, 1 June 2012, Pages 5353-5360
نویسندگان
Ming Tsung Kao, Jen Fin Lin,