کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10670412 1008866 2011 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Near infra-red Mueller matrix imaging system and application to retardance imaging of strain
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Near infra-red Mueller matrix imaging system and application to retardance imaging of strain
چکیده انگلیسی
We report on the design and performance of a near infra-red Mueller matrix imaging ellipsometer, and apply the instrument to retardance imaging of strain in near infra-red transparent solids. Particularly, we show that the instrument can be used to investigate complex strain domains in multi-crystalline silicon wafers.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 519, Issue 9, 28 February 2011, Pages 2737-2741
نویسندگان
, , ,