کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1663740 | 1517994 | 2016 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Sn-inserted Al-induced layer exchange for large-grained GeSn thin films on insulator
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Large-grained polycrystalline GeSn layers on glass are achieved through the layer exchange between a-Ge and Sn-doped Al layers. The thicker Sn layers, inserted below Al layers, provided the faster growth velocity, resulting in the smaller grain size of the GeSn layer. Controlling the Sn thickness (10 nm) and the growth temperature (300 °C) allowed for approximately 80% (111)-oriented GeSn layer with grains having an average size of 40 μm. The lower growth temperature led to the higher Sn content in GeSn: 300 °C resulted in a Sn content of 2%. These findings are meaningful to researches related to GeSn on insulators for fabricating advanced electrical and optical devices on inexpensive substrates as well as on Si platforms.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 616, 1 October 2016, Pages 316-319
Journal: Thin Solid Films - Volume 616, 1 October 2016, Pages 316-319
نویسندگان
Kaoru Toko, Naoki Oya, Mitsuki Nakata, Takashi Suemasu,