Synthesis of amorphous hydrogenated carbon thin films by magnetized radio-frequency discharge in argon-acetylene mixture at very low gas pressure

در این مقاله، توصیف خصوصیات فیلم های نازک کربنی روی بستر سیلیکون بلورین با استفاده از یک تخلخل فرکانس بالا مغناطیسی در مخلوط آرگون و استیلن با فشار بسیار پایین ارائه شده است. فیلم های نازک با ساختار مورفولوژیکی متفاوت به دست می آیند. بسته به فشار گاز، درصد استیلن و زمان فرایند، می توان مورفولوژی فیلم سطح را به سه دسته طبقه بندی کرد: صاف، ترک خورده یا میکروساختار. علاوه بر این، هنگام استفاده از میدان مغناطیسی خارجی، دیده شده است که بسته به جهت سوبسترا (عمود یا موازی) به محور راکتور، ممکن است مورفولوژی های مختلف فیلم را بدست آورید. برای شرایط خاص، یون های آرگون پر انرژی تشکیل می شوند که منجر به آسیب رساندن به سطح فیلم می شود و هنگامی که آنها را تحت تاثیر قرار می دهد، سطح فیلم را تحت تاثیر قرار می دهد. مسیرهای شیمیایی و احتمالا ایزومرهایی که به رشد کمک می کنند نیز شناسایی و مورد بحث قرار می گیرند. مواد سنتز کننده در چنین شرایط کم فشار برای درک بهتر پدیده های پیچیده ای که در پلاسما اتفاق می افتد مانند ناپایداری های ناشی از ذرات و طیف های مادون قرمز از گرد و غبار بین ستاره ای کربن است.