کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1664360 1008755 2015 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Transparent gallium doped zinc oxide thin-film transistors fabricated on glass substrate
ترجمه فارسی عنوان
ترانزیستورهای نازک روی دی اکسیدکربن گالیم، ساخته شده بر روی بستر شیشه ای
کلمات کلیدی
دستگاه شفاف، عملکرد بالا، گالیم روی اکسید، ترانزیستورهای فیلم نازک، بسترهای شیشه ای
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی


• Full transparent GZO TFTs with GZO S/D electrode were fabricated.
• The GZO TFT shows a high field effect mobility of 65.57 cm2/V·s.
• The GZO TFTs were fabricated at low temperature.

High-performance transparent bottom-gate gallium-doped zinc-oxide thin-film transistors (GZO TFTs) have been fabricated on a glass substrate at a low temperature. All process temperatures were below 100 °C. For VG = − 5 to 10 V, the TFTs exhibited excellent properties such as a saturation mobility μsat of 65.57 cm2/(V·s), a linear field effect mobility μfe of 20.56 cm2/(V·s), a threshold voltage Vth of 2.2 V, a steep subthreshold swing of 166 mV/decade, a low off-state current Ioff of 5 × 10− 12 A, a high on/off current ratio of 1.5 × 107, a small contact resistance between the active layer and the S/D electrode, and a high transmittance greater than 80%. These results demonstrate that excellent device performance can be realized in GZO TFTs.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 594, Part B, 2 November 2015, Pages 266–269
نویسندگان
, , , , , , , ,